|
 |
English |
|
Версия для печати
Специализированный масс-спектрометр ЭМГ-29 (ЭМГ-20-9) для определения микропримесей в инертных газах
представляет собой времяпролетный масс-спектрометр для определения микропримесей и изотопного состава в
производстве особо чистых газов: He, Ne, Kr, Xe, N2, O2 и т.д.
Оснащение прибора
- автоматизированным вакуумным постом с безмасляной откачкой:
спиральный насос
XDS10
и турбомолекулярным насосом
EXT255H производства
BOC EDWARDS.
- имеет встроенный промышленный компьютер, который управляет работой прибора,
осуществляет самодиагностику прибора и расчет процентного состава анализируемой газовой
смеси. Встроенный компьютер имеет порты RS-232 и EtherNet для связи с внешними
локальными сетями.
Основные технические характеристики прибора
| Диапазон измеряемых концентраций, %об. |
0,00001-100 |
| Верхняя граница определяемых масс |
500 |
| Разрешающая способность |
500 |
| Предел обнаружения примесей в особо чистых газах |
0.1 ppm |
| Экспрессность анализа |
1 секунда |
| Габариты прибора |
1200×600×600 |
| Масса прибора |
120 кг |
Подробно смотри
В.Т.Ждан, А.В.Козловский,
А.Н.Можаев, И.И.Пилюгин "Применение времяпролетной масс-спектрометрии
для непрерывного контроля микропримеси гелия
в промышленном производстве особо чистых
инертных газов", ж-л "Масс-спектрометрия", 7(1), 2010
|
|
